楚千澜凝视着控制面板上缓慢回落的温度数值，指尖轻叩观察窗边缘，语气异常平静：“故障现在暴露，总比量产时出问题要好。”
他抬手示意技术人员调出设备结构图，指尖在屏幕上勾勒出改进方案：“可以在镜头周边增加微型散热鳍片，同时优化温度补偿算法，根据实时温度数据动态调整光路参数，抵消热胀冷缩带来的偏移。
另外，给光源设备加装独立的恒温控制系统，将工作环境温度波动控制在±0.5c以内，从根源上减少热变形的影响。”
沈院士看着楚千澜快速给出的解决方案，眼中闪过赞许：“这个思路可行！微型鳍片+动态补偿+恒温控制，三重保障应该能解决热稳定性问题。
龙科院可以协调光学材料专家，帮忙优化散热鳍片的材质和结构，提升导热效率。”
冷却系统运转半小时后，设备温度恢复正常。
张北光按照楚千澜的方案临时调整参数，重新启动光源设备。
这一次，光束聚焦偏移量被稳定控制在±0.002微米以内，警报再也没有响起。
王世杰长舒一口气，脸上重新露出笑容：“楚总，调整后效果显着！现在连续运转半小时，各项参数依旧稳定，热稳定性问题算是暂时解决了。”
楚千澜微微颔首，语气带着严谨：“暂时解决不代表一劳永逸。让研发团队成立专项小组，针对热稳定性做为期一周的连续测试，模拟量产场景下的各种极端工况，务必让设备达到工业级量产标准。”
王世杰重重点头，迅速在平板上记录核心指令：“明白！我这就组建专项测试小组，覆盖高温环境、长时间满负荷运转、频繁启停等七种极端工况，每小时记录一次参数，形成完整的稳定性报告。”
沈院士俯身查看调整后的实时数据，光束聚焦偏移曲线平稳得如同水平线，眼中满是欣慰：“没想到这么快就能稳住，楚总的方案确实精准。
不过，极紫外光源的高能量特性还可能带来其他隐患，比如光学镜头的损耗速度、等离子体对腔体的腐蚀，这些都得纳入长期测试范围。”
楚千澜指尖轻叩观察窗，目光扫过光源设备的核心腔体：“沈院士提醒得对。让材料团队同步跟进，分析镜头涂层的抗损耗性能，评估腔体材料的耐腐蚀等级。
如果现有材料无法满足长期量产需求，立刻联合星源探索，启动替代材料研发。”
星源探索此时的研发团队已经非常庞大，仅仅材料研发就有十几支团队。
有女娲系统的协助，可以在最短时间内解决深蓝半导体的需求。
随着设备持续稳定运转，车间内的紧张氛围逐渐消散。
技术人员们各司其职，记录数据、监测参数，脸上都洋溢着兴奋。
新光源设备投射出的淡紫色光束如同精准的画笔，在晶圆表面勾勒出细密的电路纹路，每一道线条都均匀锐利，远超原有光源的表现。
两小时后，第四轮小批量测试完成。
王世杰刷新数据平板，声音带着抑制不住的激动：“楚总、沈院士，最新测试结果出来了！晶圆良率稳定在97.8%，线宽误差控制在±0.0025微米，连续运转四小时无任何参数漂移，热稳定性完全达标！”
他调出测试报告，屏幕上清晰显示：“光学镜头损耗率仅0.01%\/千片晶圆，腔体腐蚀程度低于行业标准30%，各项指标均满足工业级量产要求。”
沈院士看着报告上亮眼的数据，忍不住赞叹：“这已经不是初步成功，而是完全具备量产条件了！
有了这套自主光源设备，深蓝半导体的180纳米光刻机产能至少能提升40%，良率再上一个台阶，后续45纳米光刻产线的研发也有了坚实基础。”
楚千澜脸上露出一丝淡笑，“光源设备量产是要提上日程了，但这180纳米光刻机提升产能就不需要了。
待到45纳米光刻产线完成研发，公司就没必要再维持这条180纳米的落后产线了！”
这条产线是深蓝半导体最早购买的光刻机，但制程并不是特别先进，再加上国外半导体巨头的围剿，公司订单根本不足以维持180纳米光刻机的运转。
王世杰握着数据平板的手指微微一顿，随即了然点头：“楚总说得对，180纳米制程的产线一直亏损，确实没有继续维持下去的必要！”
沈院士眸光闪烁：“楚总是准备出售180纳米光刻机吗？我可以帮忙牵线搭桥！”
180纳米光刻机放在深蓝半导体属于落后产能，但在龙国其他芯片代工厂中，还属于生产芯片的中坚力量。
若非如此，之前那台250纳米制程的光刻机，也不会卖出5000万的价格。
楚千澜微微颔首：“出售确实是最优解。不过，这套180纳米光刻机是正常购入的设备，对外出售不需要隐瞒信息。”
上次出售的250纳米光刻机是深蓝半导体自己复刻的，没有合法身份，自然不好光明正大的出售。
这套180纳米光刻设备虽然获得的过程有些问题，但并不妨碍正常转售给其他公司。
沈院士眼中闪过一丝亮色：“光明正大出售最好！龙国还有不少专注于功率芯片、模拟芯片的厂商，180纳米制程对他们来说完全够用，而且自主光源加持后的设备良率和稳定性，比他们现在用的老旧设备强太多，肯定会抢着要。”
楚千澜却摇了摇头，“这套180纳米光刻机搭载原有光源设备！新开发的极紫外光源设备还要完善，在我们研发的45纳米光刻产线完成前，不会对外公开。
想必购买光刻机的厂家，也不会为了几个点的良率，增加大量的预算。”
极紫外光源虽然还没有正式上市，但价格肯定极高。用在180纳米光刻机上，肯定难以收回成本。
沈院士闻言恍然大悟，随即点头认同：“楚总考虑得周全！极紫外光源技术刚突破，成本必然居高不下，搭载在180纳米光刻机上确实得不偿失。”
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